Notre technologie MEMS-Pirani vous permet de déceler des taux de fuite sous la limite de détection d’essais traditionnels et peut être adaptée à une foule d’applications générales. Cette solution de mesure dans le temps de la pression interne de la cavité est non destructive.
Notre technologie est utilisée pour la surveillance de boîtiers hermétiques sous vide, la mesure de la pression sous vide pour les industries des semi-conducteurs et du revêtement, ainsi que l’intégration de divers systèmes de contrôle de la pression. Le microdétecteur de pression MEMS-Pirani est un outil vraiment exceptionnel.