Couches minces optiques

Les techniques d’évaporation en usage sont bien établies et utilisent un procédé d’évaporation réactif assisté par plasma ou par faisceau d’ion. Nos matériaux d’évaporation à base d’oxyde, d’halogène et de chalcogène permettent de couvrir la bande spectrale de l’UV à l’infrarouge lointain. Grâce à une multitude d’outillages, nous pouvons évaporer sur différents types et différentes dimensions de substrats, de lentilles et de fibres optiques. 

Forts de nos 30 ans d’expertise et d’expérience dans le domaine du dépôt de couches minces optiques (CMO), nous mettons au point des solutions innovantes qui répondent aux besoins spécifiques de nos clients. Nos outils de simulation de couches minces optiques permettent la conception d’empilements complexes tels que des hauts réflecteurs, filtres dichroïques, filtres passe-bande et d’antireflet large bande, selon les exigences de nos clients. De plus, nos capacités de mesures optiques par spectrophotométrie, ellipsométrie, spectrométrie-FTIR, microscopie ou profilométrie permettent la caractérisation complète des propriétés optiques de nos couches minces, de l’UV (200 nm) à l’infrarouge lointain (650 µm).  

Nos systèmes de dépôt de couches minces assisté par plasma ou par faisceau d’ion assurent une excellente adhésion des films sur plusieurs types de substrats. Ils procurent également une très haute densité des couches minces souvent égale, voire supérieure au matériau brut, pouvant résister à des températures cryogéniques et démontrant de hauts seuils de dommage optique. La technique d’évaporation physique par phase vapeur réactive produit des taux d’évaporation élevés pour la fabrication d’empilements épais et complexes. L’addition possible de chauffage durant un procédé optimise les propriétés recherchées des couches minces ainsi déposées. Une surveillance optique ou par cristal in situ facilite le contrôle des épaisseurs des couches minces et favorise une grande capacité d’évaporation sans arrêt, afin de réaliser un nombre élevé d’empilements pour des designs complexes. Les systèmes planétaires utilisés pour tenir les substrats assurent une bonne uniformité sur des formes complexes et des surfaces jusqu’à 20 cm (8 po) de diamètre.

L’utilisation de chalcogène et d’halogène requiert des procédures et équipements spécifiques afin d’entreposer, de manipuler, d’évaporer et de caractériser de manière sécuritaire ces matériaux toxiques.